Risolto un problema di rilevamento errato del sensore fotografico in ambiente ad alto vuoto.
industria dei semiconduttori
Un'azienda produttrice di apparecchiature per la fabbricazione di semiconduttori, specializzata nella progettazione di dispositivi di deposizione sotto vuoto per la produzione di semiconduttori destinati ai pannelli fotovoltaici.
Un rappresentante del reparto di progettazione dei componenti per il rilevamento su substrato ci ha chiesto informazioni sul "posizionamento" dei substrati di vetro in ambiente sottovuoto.
Tavola
Problemi del cliente
Il "sensore fotoelettrico" è stato utilizzato per rilevare la presenza di un substrato di vetro all'interno della camera a vuoto, tuttavia, si sono verificati alcuni problemi con falsi rilevamenti dovuti all'appannamento della finestra di osservazione durante l'evaporazione.
Inoltre, c'era un altro problema: la finestra di visualizzazione stessa è realizzata con una lavorazione meccanica molto costosa.
Il cliente ha consultato i principali produttori di sensori e ha provato un sensore fotografico ad alte prestazioni, tuttavia, il suo utilizzo non è in grado di prevenire i falsi rilevamenti.
La visita al nostro stand alla "Fiera Vuoto " dedicata alle tecnologie di stampaggio ha permesso al cliente di conoscere i nostri interruttori e di contattarci.
L'attenzione principale sulle questioni
Posizionamento del substrato di vetro in ambiente sottovuoto.
L'appannamento della finestra di visualizzazione durante l'evaporazione provoca un falso rilevamento nel sensore fotografico.
La finestra di visualizzazione è realizzata con una lavorazione meccanica dispendiosa.
I suggerimenti di Metro
Poiché i sensori fotoelettrici convenzionali rilevano i pezzi in base al riflesso della luce emessa, sono soggetti a condizioni esterne quali appannamento, gocce d'acqua e riflessi diffusi, ecc., che causano costantemente falsi rilevamenti.
La maggior parte degli ingegneri presume che "un sensore sia inutile in un ambiente sottovuoto".
L'interruttore di precisione "compatibile con la classe di alto vuoto" di Metrol è un interruttore meccanico di posizionamento realizzato esclusivamente con componenti a bassa emissione di gas, senza alcun substrato elettrico.
L'interruttore è compatibile con classi di alto vuoto fino a 10^-5 Pa ed è in grado di rilevare in modo sicuro il substrato di vetro anche in ambienti ad alto vuoto.
Personalizziamo la forza di contatto dell'interruttore a 0,5 N o inferiore e il materiale della punta utilizzando una resina speciale, in modo da eliminare il rischio di graffiare il delicato substrato di vetro.
Miglioramenti
Realizzazione del posizionamento del wafer in un ambiente ad alto vuoto di 10^-5 Pa.
Nessun falso positivo dovuto al contatto diretto con il wafer.
Viene eliminata la necessità della finestra di ispezione e i costi di lavorazione si riducono significativamente.
Commento di un rappresentante di Metrol
Poiché i punti di segnalazione dei sensori fotoelettrici, come il sensore fotoelettrico e il sensore a fibra ottica, sono invisibili, la regolazione dell'impianto ha richiesto più di due giorni.
Grazie alla visibilità dei punti di segnalazione dell'interruttore di posizionamento di precisione a contatto di Metrol, è possibile specificare le posizioni di installazione direttamente sul CAD in fase di progettazione.
Nell'industria dei semiconduttori, vantiamo numerose esperienze di adozione pregresse anche per quanto riguarda il posizionamento all'interno di dispositivi sottovuoto come "dispositivi di sputtering", "dispositivi di evaporazione EL organica", "incisori" e "supporti per wafer", ecc.
In caso di difficoltà nel posizionamento o nel rilevamento della presenza in ambiente sottovuoto, non esitate a contattare Metrol.
Attendiamo con interesse di ricevere vostre notizie in merito alla preparazione dei campioni per la valutazione.
Per ulteriori informazioni sui prodotti utilizzati in questa applicazione
Interruttori ad alta resistenza al vuoto
Risolto il problema del falso rilevamento del sensore fotoelettrico in ambiente sottovuoto!
