Come ottenere un posizionamento salvaspazio in ambienti ad alto vuoto con basse emissioni di gas.

Quali problemi si presentano negli ambienti sottovuoto?

Diversi problemi sono causati dal degassamento

Il degassamento è una delle problematiche più importanti nei processi produttivi in ​​ambienti sottovuoto.
Si verifica con vari componenti come maschere, parti, adesivi e cavi quando utilizzati in un ambiente sottovuoto.

I gas rilasciati dal materiale aderiscono alla parete interna della camera a vuoto e ai pezzi in lavorazione, causando problemi quali:

• Riduzione della resa produttiva dovuta a prodotti difettosi
• Problemi di qualità
• Aumento dei costi di ispezione

Pertanto, è importante selezionare e adottare attrezzature, componenti e materiali a "bassa emissione di gas" per l'utilizzo in ambienti sottovuoto.

È necessario un progetto per uno spazio ridotto.

Poiché le apparecchiature per la produzione di semiconduttori e le camere a vuoto hanno uno spazio interno molto ridotto, i progettisti devono realizzare disegni in spazi limitati e utilizzare materiali a bassa emissione di gas.

Pertanto, "Come progettare apparecchiature senza generare degassamento in ambienti sottovuoto con spazio limitato?" potrebbe essere una delle principali problematiche nella produzione in ambienti ad alto vuoto.

Quali sono le caratteristiche degli interruttori ad alta resistenza al vuoto?

 

Presentazione di 3 caratteristiche degli interruttori ad alta resistenza al vuoto della serie GN:

Questo prodotto è un "interruttore a sfioramento" che emette un segnale ON/OFF entrando in contatto con una dima o un pezzo in lavorazione.
Questi dispositivi sono comunemente utilizzati con tutti i tipi di apparecchiature e robot per il posizionamento e l'individuazione delle posizioni iniziali .

Di seguito sono elencate tre caratteristiche delle unità della serie GN compatibili con il sistema di aspirazione.

Caratteristica 1: Per il corpo dell'interruttore viene utilizzato un materiale a bassa emissione di gas.
Caratteristica 2: Le dimensioni ultracompatte consentono di risparmiare spazio
Caratteristica 3: L'assemblaggio viene eseguito in una camera bianca per prevenire la contaminazione Catalogo

Caratteristica 1: Per il corpo dell'interruttore viene utilizzato un materiale a bassa emissione di gas.

Interruttori ad alta resistenza al vuoto
sono realizzati con materiali che riducono al minimo il degassamento, una causa comune di contaminazione, con una produzione di degassamento pressoché nulla anche in ambienti di alto vuoto di classe 10⁻⁵ Pa.

I materiali utilizzati per il corpo dell'interruttore sono i seguenti.

[Materiale del corpo]
• SUS304
• SUS420
・BsBM



[Parti in Resina ]
Il “PEEK” viene utilizzato per le parti in resina all'interno dell'interruttore compatibile con il vuoto.
Si tratta di un materiale a bassa emissione di gas, con un contenuto molto basso di composti organici volatili e ioni metallici, che ne consente l'utilizzo in ambienti sottovuoto senza preoccuparsi della contaminazione.

[Cavo per il corpo]
Utilizzo di materiale "PTFE" .

[Adesivo: Torr Seal]
Utilizzo dell'adesivo a bassa emissione di gas "Torr Seal" .

[Altre sostanze costituenti]
Per gli interruttori ad alta resistenza al vuoto non si utilizzano grassi, lubrificanti o oli .



Catalogare

Caratteristica 2: Le dimensioni ultracompatte consentono di risparmiare spazio

Gli interruttori di resistenza al vuoto ad alta resistenza della serie GN sono interruttori di posizionamento ultracompatti che possono essere facilmente installati in spazi ristretti.

Caratteristica 3: Bassa emissione di gas anche in ambienti di alto vuoto di classe 10⁻⁵ Pa

Il corpo dell'interruttore è realizzato in un materiale a bassa emissione di gas che può essere utilizzato in ambienti ad alto vuoto (da 10⁻¹ Pa a 10⁻⁵ Pa).
Alcuni processi di alto vuoto comunemente utilizzati nell'industria includono la deposizione sotto vuoto, lo sputtering e le apparecchiature per la lavorazione di film sottili.

※ambiente ordinario ~ ambiente ad alto vuoto: HV: alto vuoto (10⁻¹ Pa ~ 10⁻⁵ Pa)

Caratteristica 4: Assemblato in una camera bianca per prevenire la contaminazione

Gli interruttori ad alta resistenza al vuoto vengono assemblati nelle seguenti condizioni per prevenire la contaminazione.
• I componenti da assemblare vengono puliti prima dell'uso
• L'assemblaggio viene eseguito in una camera bianca
• Guanti in lattice (senza talco) da utilizzare durante l'assemblaggio del catalogo

Scelta tra i diversi tipi di interruttori ad alta resistenza al vuoto

Sono disponibili le seguenti cinque opzioni di configurazione tra cui scegliere.

• Forma Contatto
• Direzione del cavo
・Lunghezza Cavo
• Modalità Funzionamento : Normalmente aperto (NO) o Normalmente chiuso (NC)
• Diametro/Lunghezza Corsa





Specifica 1: Forma Contatto

L'interruttore emette un segnale quando la superficie di contatto viene toccata.

La forma della superficie di contatto deve essere selezionata in base all'angolo di contatto con l'oggetto.
Per gli interruttori ad alta resistenza al vuoto sono disponibili le due seguenti forme di contatto.

(1) Contatto Dritto
(2) Contatto Angolato


(1) Quando il contatto viene toccato dalla parte anteriore: " tipo di contatto Dritto " (serie PT)
*Nota precauzionale
I contatti Dritto non possono essere utilizzati se il contatto avviene ad angolo, poiché il punto di contatto o i componenti interni potrebbero danneggiarsi.
Si prega di predisporre sempre l'incontro in modo tale da garantire un contatto frontale.

(2) Quando il contatto viene toccato ad angolo: “ tipo di contatto Angolato ” (Serie di contatti a sfera BP)
• Pezzi con superficie di contatto curva
• Pannelli LCD di grandi dimensioni o componenti di circuiti stampati che potrebbero deformarsi
Nei casi sopra descritti, selezionare un interruttore a contatto angolato (serie BP) con contatto a sfera.

Gli interruttori a resistenza per alto vuoto con tipo a sfera sono disponibili in 2 tipi di diametro e lunghezza di corsa.
• Lunghezza della corsa del tipo M5: 0,8 mm
• Lunghezza della corsa del tipo M16: 2,9 mm

Catalogare

Specifica 2: Direzione del cavo

Selezionare uno dei seguenti 2 tipi di direzione del cavo dell'interruttore.

(1) Dritto
(2) 90°(R)

Seleziona la direzione in base a come desideri gestire il cavo all'interno di un dispositivo o di una camera a vuoto dove lo spazio è limitato.

Specifica 3: Lunghezza Cavo

La lunghezza standard del cavo per Interruttore ad alta resistenza al vuoto è di 0,5 m .

La lunghezza può essere selezionata tra le seguenti tre opzioni.

《Opzioni per la lunghezza del cavo》
・1m
・3m
・5m

Specifica 4: Modalità Funzionamento

Esistono due modalità di funzionamento: normalmente aperto e normalmente chiuso.

Il punto di funzionamento del segnale è diverso tra la modalità normalmente aperta e quella normalmente chiusa.

・Normalmente aperto (NO):
Viene emesso un segnale quando l'interruttore entra in contatto con una superficie di contatto e viene premuto di 0,2-0,3 mm.
• Normalmente chiuso (NC):
0 pre-percorso (la distanza percorsa prima che il segnale venga commutato). Il segnale viene emesso quando viene stabilito il contatto con il bersaglio.

Riepilogo delle specifiche:

• Forma Contatto
• Direzione del cavo
・Lunghezza Cavo
• Modalità Funzionamento : Normalmente aperto (NO) o Normalmente chiuso (NC)
• Catalogo dei diametri

《 Tavola delle specifiche Interruttore ad alta resistenza al vuoto Serie GN 》

*1: Lunghezza totale = Dalla punta del contatto all'estremità del corpo (non include la lunghezza del cavo)

*2: Unità di lunghezza: mm

Domande frequenti e punti da ricordare

Temperatura Resistenza al calore (limiti superiore e inferiore)

Il limite superiore di resistenza al calore degli interruttori ad alta resistenza al vuoto è di 120 °C e il limite inferiore è di 0 °C.
Durante la cottura per la degassificazione, può essere utilizzato fino a 120 °C per circa 2 ore senza alcun problema.

Velocità Funzionamento e vibrazione

Evitare di utilizzare velocità operative basse, pari o inferiori a 10 mm/min, poiché sussiste il rischio di vibrazioni.

Vita Contatto

Può essere utilizzato per 3 milioni di transizioni ON⇔OFF.

Coppia di serraggio durante l'installazione di dadi e viti

La coppia di serraggio di dadi e viti durante l'installazione dell'interruttore deve essere di 1 N/m .

Modelli di successo e Applicazioni

 

Questa sezione presenta casi di successo di interruttori ad alta resistenza al vuoto, suddivisi per settore, applicazione e tipo di pezzo.

Settori industriali:

• Semiconduttore
• Pannello LCD
• OLED
• Aerospaziale

Corpo di studio/applicazioni:

Le seguenti applicazioni di posizionamento in ambienti sottovuoto sono comuni.
• Individuazione dell'origine Pezzo in lavorazione
• Posizionamento Pezzo in lavorazione
• Posizionamento Dima

Pezzi rilevabili:

• Substrati: vetro, metallo, plastica

Esempi pratici di implementazione:

• Posizionamento del palco all'interno di camere a vuoto
• Posizionamento Pezzo in lavorazione all'interno di dispositivi di deposizione sotto vuoto
• Apparecchiature per sputtering
• Posizionamento all'interno delle apparecchiature per la produzione di film sottili
• Posizionamento di wafer di semiconduttori
• Stadi di posizionamento compatibili Vuoto
• Verifica del corretto posizionamento della maschera con i supporti del substratoCatalogo

Esempio di miglioramento con interruttori ad alta resistenza al vuoto

Esempio di adozione 1: Posizionamento del tavolo XY per semiconduttori

Punto problematico

• L'asse XY si sposta di pochi micron a causa dell'autoriscaldamento.
• I sensori fotomicroscopici non sono in grado di individuare con precisione l'origine del problema.

Dopo il miglioramento

• Il rilevamento Precisione della posizione del tavolo è possibile tramite un interruttore a tipo .

Esempio di adozione 2: Conferma del corretto posizionamento Substrato di vetro

Punto problematico

• I connettori speciali per il vuoto sono costosi, con un prezzo superiore a 2.000 dollari USA.
• È necessaria l'installazione di una finestra di visualizzazione.

* Come prodotti sostitutivi sono disponibili "sensori a fibra ottica trasparenti per il vuoto" o "sensori di spostamento" di altri produttori.
Tuttavia, rispetto Interruttore ad alta resistenza al vuoto, che in genere costa tra i 300 e i 500 dollari, la fascia di prezzo del sensore a fibra è molto più alta, dai 2000 ai 5000 dollari o più per unità e amplificatore.

Dopo il miglioramento:

• Non sono necessari connettori per vuoto speciali e costosi.
• È possibile ridurre i costi non richiedendo una finestra di visualizzazione.

Esempio di adozione 3: Individuazione dell'origine del vettore

Punto problematico

• Voglio trovare l'origine di un carrello scorrevole utilizzando 2 punti con le superfici inferiore e laterale.

Dopo il miglioramento:

• L'integrazione di un interruttore a tipo a sfera nella dima ha permesso di progettare un sistema di posizionamento della superficie inferiore della seduta.
• Il rilevamento ad alta precisione dell'origine della superficie laterale è stato progettato utilizzando un interruttore a sfioramento lineare.

Informazioni Contatto e sul prodotto

《Contatto》
I nostri ingegneri risponderanno a qualsiasi domanda relativa alle modalità di utilizzo del prodotto o alle richieste di personalizzazione.
Possiamo offrire il miglior supporto possibile se ci vengono forniti dettagli sull'applicazione, sull'ambiente di utilizzo e sul tipo di pezzi che verranno rilevati.
Utilizza il modulo di contatto qui sotto per contattarci.

Maggiori informazioni sugli interruttori ad alta resistenza al vuoto:

Si prega di compilare il seguente modulo per scaricare il catalogo.

《Sito di produzione》
Clicca qui per andare al sito della serie GN